無(wú)塵車(chē)間亂流式
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由無(wú)塵室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵生產(chǎn)車(chē)間等級1000-100000級。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再啟動(dòng)，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
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